索引号: 02165835-014/2023-83989 公开方式: 主动公开
文号: 成文日期: 2023-05-16
发布单位: 市生态环境局常山分局 有效性:
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    02165835-014/2023-83989

  • 公开方式:

    主动公开

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  • 成文日期:

    2023-05-16

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    市生态环境局常山分局

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浙江富乐德半导体材料科技有限公司常山三期CVD-SIC项目环境影响评价公告

发布时间: 2025- 03- 18 15: 23

信息来源: 市生态环境局常山分局

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浙江富乐德半导体材料科技有限公司常山三期CVD-SIC项目环境影响评价公告

一、建设项目情基本情况

1)项目名称:浙江富乐德半导体材料科技有限公司常山三期CVD-SIC项目

2)建设地点:常山工业园区金川街道恒升路25

3)行业类别:C3985电子专用材料制造

4)建设规模:本项目主要面对国内碳化硅客户市场,利用现有86亩土地同时新增厂区面积19.5亩(在建氧化铝项目和本项目生产区域86亩,员工住宿生活区域共用19亩地块分两次拍买土地,氧化铝项目竞拍86亩),形成集材料烧结材料制备加工洗净为一体的生产线,最终形成年产96000件套产品的规模。

二、环境影响评价范围内主要敏感目标分布情况

本项目主要保护对象情况见表1

1 评价范围内主要敏感目标分布情况

名称

坐标

保护对象

相对厂址方位

相对厂界距离

规模

保护级别

X/m

Y/m

行政村

自然村

环境空气

642169.62

3195849.02

新都村

宿村

E

~320m

户数480户,人口1475

(GB3095-2012)二级

643358.00

3197793.00

学堂山村

NE

~2660m

640852.00

3195263.00

叶姑岭村

SW

~540m

642773.00

3197338.00

毛茆

NE

~1920m

50

642893.00

3197216.00

家瑜村

NE

~1880m

35

642335.49

3196517.85

板山底村

NE

~1040m

85

643714.19

3195617.76

十里山村

龙头上

SE

~2030m

154

643600.10

3194853.53

道士庄

SE

~2100m

90

642974.00

3195457.00

十里山村

SE

~1310m

513

642932.00

3195681.00

新都新村

SE

~1330m

1300

643903.86

3195350.31

浅水湾小区

SE

~1830m

450

642306.17

3195004.90

蒋家

SE

~760m

650

642295.00

3194272.00

阴山底村

SE

~1500m

165

642010.45

3193808.85

赤脚湾村

SE

~1870m

60

642056.00

3193778.00

十五里村

SE

~2000m

600

642858.00

3194118.96

毛家山

SE

~1960m

30

641071.00

3195747.00

新亭

W

~75m(距离氢气站、CVD车间分别约125m175m

10户,35

639034.00

3195886.00

卧犬形

W

~2100m

6户,21

640589.03

3195020.67

揭家村

SW

~880m

15户,约45

640536.41

3195245.87

樟树底村

SW

~780m

10户,约32

640375.00

3194965.00

李家

SW

~1060m

9户,约30

640889.00

3194941.00

张家

SW

~780m

10户,约42

639236.00

3197056.00

新庙村

NW

~2400m

280户,1200

639488.00

3197163.00

同弓小学

NW

~2200m

200

639053.00

3197770.00

新铺村

NW

~2710m

253户,1185

639962.00

3198432.00

山边村

NW

~2550m

372户,1518

地表水

/

/

南门溪

E

~1455m

小河

(GB3838-2002)III

声环境

642295.00

3194272.00

新亭

W

~75m

10户,35

(GB3096-2008)2

土壤

641071.00

3195747.00

新亭

W

~75m

10户,35

GB36600-2018第一类用地筛选值

三、主要环境影响预测情况

1)废气

项目生产线废气因子主要为氯化氢、氟化物、硝酸雾、颗粒物、非甲烷总烃等。根据预测,在正常工况下,该项目废气经废气处理设施处理后对周围大气环境影响不大,能达到功能区类别要求。

2)废水

废水主要为生产工艺废水及公用工程废水。工艺废水主要为研磨热水洗废水、酸洗废水、超声波洗净废水等,公用工程废水主要为纯水制备浓水、设备及地面清洗废水、废气吸收废水生活污水等。

该项目废水经厂区污水处理站处理后常山县城市污水处理厂处理,对周围水环境影响不大。

3)噪声

该项目实施后产生的噪声主要为气相沉积炉、石墨氧化炉、凯柏机冈本旋转平面磨床沈阳天乙外圆磨、超纯水系统、RO水制备系统、风机等设备运行噪声,其噪声源强在7085dB之间,噪声经厂房与围墙隔音、屏蔽、衰减作用后,可以有效降低噪声强度,对周围环境无明显影响。预计项目实施后公司厂界四周环境质量现状仍能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类区标准,对周围声环境质量影响不大。

4)固废

本项目固废主要为碳化硅、废盐含泥切削液危险废包装材料反渗透膜废活性炭、石英砂废树脂、中和除氟污泥、絮凝沉淀污泥以及生活垃圾项目产生的含泥切削液危险废包装材料等危废均委托具有危废处理资质单位处置;纯水制备废活性炭、石英砂,中和除氟污泥、絮凝沉淀污泥、废碳化硅等一般固废外售综合利用,生活垃圾委托环卫部门定期清运。只要企业认真落实上述各固废的处置措施,则该企业固废对周围环境影响不大。

、拟采取的主要环保措施、环境风险防范措施以及预期效果

本项目拟采取的主要环保措施及预期效果见表2

2  污染治理措施汇总表

分类

措施名称

主要内容

预期治理效果

废水

废水收集、清污分流措施

雨污分流、清污分流、污污分流

《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)间接排放标准,其中氨氮从严执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33-887-2013)。

废水处理系统

酸洗废水、酸性废气处理废水经除氮系统处理再经中和除氟系统处理;脱脂、脱脂水洗、地面清洗水、经隔油、絮凝沉淀处理;生活污水经隔油池、化粪池处理,处理后废水与纯水制备浓水汇合后纳管排放。

废气

废气收集系统

采用废气管道等措施进行收集

《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)“新污染源大气污染物排放限值”二级标准,厂区内VOCs无组织排放达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)表A.1规定的特别排放限值。

工艺废气

气相沉积炉氯化氢经4套二级碱液喷淋塔,氢气通过压缩空气稀释至2%浓度以下通过15m排气筒排放;石蜡熔化隔间油雾、轮廓加工油雾、磨床湿加工分别经车间油雾分离器处理后经15m排气筒排放;酸洗槽酸雾经集气罩收集,酸雾经废气收集系统收集经碱喷淋洗涤系统处理后经15m排气筒排放;高温氧化废气经氧化炉15m排气筒排放;脱蜡工序油雾废气经车间油雾分离器处理后经15m排气筒排放。

噪声

隔声、消声、减振等措施

执行GB12348-20083类标准

固废

分类收集处置

设置固废暂存库,分类存放

资源化、无害化、减量化

其他

事故应急措施

事故应急池一座

加强环境应急能力的建设,降低事故发生可能性

绿化等

/

 

五、环境影响评价结论的要点

项目位于常山县工业园区金川街道恒升路25,地块属于工业用地,符合常山县的用地规划项目建设符合常山县三线一单分区管控方案相关要求,本项目主要生产碳化硅材料,属于半导体分立器件制造符合国家和地方相关产业政策,且其工艺技术和装备基本达到清洁生产要求采取相应措施后排放的污染物能够达到国家和省规定的污染物排放标准符合总量控制要求各污染物经治理达标排放后对周围环境的贡献量不大,对环境保护目标的影响较小,当地环境质量仍能满足功能区要求。

建设单位应切实落实各项污染治理措施,严格执行三同时制度,加强环保管理,确保污染物稳定达标排放,将项目对周边环境的影响降至最低。

六、征求意见范围、对象和期限

主要为评价范围5km×5km(拟建地为中心,主导风向为主轴)区域内的公众。公众对建设项目有环境保护意见的,可向建设单位或环评单位提出,并留下姓名、联系方式、联系地址。

公众提出意见的起止时间:2023517日~2023530日(10个工作日)。

七、公众意见反馈途径

公众可通过电话、信函等形式将意见反馈,也可直接拜访建设单位或环评单位的联系人,当面反馈意见。

建设单位浙江富乐德半导体材料科技有限公司        郑先生/13429690123

地址:常山工业园区金川街道恒升路25             邮编324123

环评单位:杭州一达环保技术咨询服务有限公司        电话:林工/18506709700

地点:杭州市上城区四季青街道越秀维多利中心B502    邮编:310004

环评审批单位:衢州市生态环境局常山分局             0570-5185128

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

公告发布单位:浙江富乐德半导体材料科技有限公司(盖章)

公告发布时间:2023516

公示时间:2023517日~2023530